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              Entegris携EUV、3D NAND等解决方案亮相2019年SEMICON China
              出自:大半导体产业网

              Entegris (纳斯达克: ENTG)即将亮相3月20-22日于上海新国际博览中心举办的2019年SEMICON China展览会 (N5展馆5331展位),并将展出诸多解决方案,包括洁净化学?#26041;?#20184;、EUV光罩储存和运输、晶圆传送、工艺气体纯化、3D NAND材料与集成、汽?#30331;?#22312;缺陷检测等,旨在为中国本土半导体制造企业在提升产能的关键时期解决产品良率、性能及可靠性等核心问题。

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              Entegris还将在展会期间主办首届洁净化学?#26041;?#20184;论坛 (3月21日,N5展馆M47会议室),推动中国化学品企业提升产品等级,开拓日益蓬勃的半导体市场。
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              Entegris展出的主要解决方案:
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              · 96层乃至更多:解决3D NAND材料与集成的挑战
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              · 洁净化学?#26041;?#20184;:保持洁净化学?#26041;?#20184;?#26041;冢?#30830;保材料纯度,从而优化晶圆良率和可靠性
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              ·? 检查潜在缺陷提高汽车电子设备可靠性:无污染元件带来更安全、更耐用的电子设备,助力下一代无人驾驶汽车
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              文章收入时间: 2019-03-20
               
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